可動素子

Movable element

Element amovible

Abstract

La présente invention concerne un élément amovible qui peut parvenir simultanément à une miniaturisation du niveau du sous-micron, un fonctionnement à grande vitesse, la simplification du procédé de fabrication, la réduction des coûts et une grande fiabilité. L'élément amovible possède une structure de base comprenant une électrode inférieure et une couche conductrice de base fixée sur un substrat, respectivement, un arbre élastique d'un nanotube de carbone se tenant avec l'extrémité inférieure fixée sur la couche conductrice de base et un corps structurel supérieur comprenant une électrode supérieure fixée sur l'extrémité supérieure de l'arbre élastique tout en étant éloigné de l'électrode inférieure, l'électrode supérieure étant éloignée de l'électrode inférieure par une force de Coulomb agissant entre les deux électrodes dans une plage autorisée de déformation élastique de l'arbre élastique.
A movable element which can achieve miniaturization of submicron level, high speed operation, simplification of fabrication process, cost reduction, and high reliability simultaneously. The movable element has a basic structure comprising a lower electrode and a basic conductive layer secured onto a substrate, respectively, an elastic shaft of carbon nanotube standing with the lower end secured onto the basic conductive layer, and an upper structural body including an upper electrode secured to the upper end of the elastic shaft while spaced apart from the lower electrode, wherein the upper electrode is displaced from the lower electrode by Coulomb force acting between the both electrodes within an allowable range of elastic deformation of the elastic shaft.

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